




真空鍍膜機
真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。在光學(xué)儀器中人們熟悉的光學(xué)儀器有望遠鏡、顯微鏡、照相機、測距儀,以及日常生活用品中的鏡子、眼鏡、放大鏡等,它們都離不開鍍膜技術(shù),鍍制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等幾種。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,終形成薄膜。
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真空抽不上去的原因
1、漏率偏高就是我們通常所說的漏氣;.
2、真空機組的抽氣能力不夠了,油被污染或氧化了:
3、真空室內(nèi)太臟放氣;
4、真空室內(nèi)有漏水;
5、真空管道有漏氣;.
6、或者是以上幾種可能都有。
出現(xiàn)問題首先是要判斷,是不是拆卸過東西,是不是漏水?閥門打開了嗎?根據(jù)現(xiàn)象判斷原因,然后再去根據(jù)判斷找問題,可能會收到事半功倍的效果。
養(yǎng)成良好的衛(wèi)生習(xí)慣
相比以前我們廠的設(shè)備是灰塵滿面、油漬不堪。也許很多人都認為,設(shè)備只要正常運轉(zhuǎn)就可以了,搞得再干凈也是做表面工作。機械泵有很多種,常用的有滑閥式(此主要應(yīng)用于大型設(shè)備)、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式(此目前應(yīng)用廣泛,本文主要介紹)四種類型。我可是這樣認為的,一個人連表面工作都作不來,那真的還有內(nèi)在、實在的工作嗎?當(dāng)然設(shè)備和設(shè)備周圍的灰塵、油污對設(shè)備的本身的影響也是相當(dāng)之大的。灰塵能產(chǎn)生靜電,損壞電子元件;油污能使電線、水管硬化開裂,造成一些意想不到的問題出現(xiàn)。特別我們使
用的真空設(shè)備,還有它本身的特殊性。真空設(shè)備講究的是-一個真空清潔度,真空清潔度越差,放氣性就越大。這樣使設(shè)備抽到較高的真空度所需的時間就越長。
或者根本就無法抽到。這樣一來就減少我們的產(chǎn)量,二來影響到了我們的產(chǎn)品的質(zhì)量。
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真空鍍膜機原理
真空鍍膜機是目前制作真空條件應(yīng)用為廣泛的真空設(shè)備,一般用真空室、真空機組、電氣控制柜三大部分組成,排氣系統(tǒng)采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。但(QCM)的準確性是有限的,鍍膜機部分原因是其監(jiān)測代替光學(xué)厚度的涂層質(zhì)量。本公司專業(yè)從事真空鍍膜設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn)擁有經(jīng)驗豐富的技術(shù)團隊及的售后服務(wù)隊伍為您解決設(shè)備在使用過程中遇到的任何問題。
真空鍍膜機檢漏
要承認漏氣究竟的虛漏仍是實漏,因為工件資料加熱后都會在不同程度上發(fā)生氣體,有也許誤以為是從外部流進的氣體,這即是虛漏,要掃除這種狀況。
第二,測驗好真空室的氣體密封功能,確保氣密功能符合要求。
第三,查看漏孔的巨細,形狀、方位,漏氣的速度,制備出可處理方案并施行。
第四,斷定檢查儀器的1小可檢漏率和檢漏靈敏性,以1大規(guī)模的檢查出漏氣狀況,防止一些漏孔被疏忽,進步檢漏的準確性。
第五,掌握檢漏儀器的反應(yīng)時刻和消除時刻,把時刻掌握好,確保檢漏儀器作業(yè)到位,時刻少了,檢漏作用必定差,時刻長了,糟蹋檢漏氣體和人工電費。
第六,還要防止漏孔阻塞,有時因為操作失誤,檢漏過程中,一些塵?;蛞后w等把漏孔阻塞了,以為在該方位沒有漏孔,但當(dāng)這些阻塞物因為內(nèi)外壓強區(qū)別進步或別的緣由使漏孔不堵了,那漏氣仍是存在的。
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